ARZUFFI发电机 BDS-MF系列

发布日期：2020-07-23 浏览次数：0

Arzuffi BDS-MF是一款等离子发生器，其正弦输出电压为40 kHz，*大功率输出为5 kW或10 kW，专为PECVD等离子或等离子体激发而设计。
　　该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出为两个对称电*的平衡型。
　　典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。
　　一个特点是内部输出的高压变压器，带有两个插座，以适应等离子体阻抗。
　　该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。
　　ARZUFFI发电机 BDS-MF系列参数：

	BDS-MF5K	BDS-MF10K
输出功率	负载为2000欧姆负载时为5 kWatt	负载为2000欧姆负载时为10 kWatt
供电电压	3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ，10A (L1，L2，L3，PE)	3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE)
尺寸	抽屉19英寸机架，4UI高度(177毫米)540毫米深度	抽屉19英寸机架，4UI高度(177毫米)540毫米深度
重量	20KG铝制容器	20KG铝制容器
冷却	空气冷却，**散热器，该装置可在高达40°C的环境温度下工作	空气冷却，**散热器，该装置可在高达40°C的环境温度下工作
输出电压	在2000欧姆负载时，tap2上的电压高达5000V	在2000欧姆负载时，tap2上的电压高达5000V
输出电流	TAP1上高3.5 A，TAP2上高2.5A	TAP1上高3.5 A，TAP2上高2.5A
输出连接器	2个Fischer 105连接器上的平衡输出，用于RG214 / U同轴电缆	2个Fischer 105连接器上的平衡输出，用于RG214 / U同轴电缆
等离子点火电压	大于5500 VRMS	大于5500 VRMS
电弧识别电路	过流一次回路，反应时间1微秒	过流一次回路，反应时间1微秒
接口	DB25连接器，模拟10V信号，24V数字引脚排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 发生器(可选)	DB25连接器，模拟10V信号，24V数字引脚排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 发生器(可选)
前面板	LCD显示2×40个字符	LCD显示2×40个字符
测量电路	RMS电压，RMS电流，负载上提供的有功功率	RMS电压，RMS电流，负载上提供的有功功率
调节电路	动力	动力
高压输出变压器	两个Tap1输出插座，用于1000欧姆负载，Tap2用于2000欧姆负载	两个Tap1输出插座，用于1000欧姆负载，Tap2用于2000欧姆负载
合规	EC可根据要求提供符合性声明	EC可根据要求提供符合性声明

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